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Multi-Metrology - Towards Parametric Yield Predictions Beyond EPE
Franz Zach, Srividya Cancheepuram, Kaushik Sah, Roel Gronheid,Fatima Anis
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL XXXVII (2023)
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A Survey on Botnets Attack Detection Utilizing Machine and Deep Learning Models
Dorieh M. Alomari,Fatima Anis, Maryam Alabdullatif,Hamoud Aljamaan
27TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON EVALUATION AND ASSESSMENT IN SOFTWARE ENGINEERING, EASE 2023pp.493-498, (2023)
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Machine learning modeling using process context and the exposure data for overlay prediction
Wei-Hung Wang, Irina Brinster, Mohsen Maniat,Fatima Anis, Yen Hui Lee, Sven Bosese, C. F. Tseng, Wei Yuan Chu,Boris Habets,C. H. Huang,Elvis Yang, T. H. Yang,
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL XXXVI (2022)
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Identifying contributors to overlay variability using a model-less analysis method
Fatima Anis,Roel Gronheid, Dieter Van den Heuvel, Franz Zach
Metrology, Inspection, and Process Control for Semiconductor Manufacturing XXXV (2021)
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