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Ik-Hyun Jeong,Hyun-Sok Kim, Yeong-Oh Kong, Ji-Hyun Song,Jae-Wuk Ju,Young-Sik Kim,Cees Lambregts, Miao Yu, Rizvi Rahman,Leendertjan Karssemeijer,Elliott McNamara,Paul Bocker,Jong-Cheol Choi,Nang-Lyeom Oh,Kang-San Lee, Jin-Seo Lee
Optical Microlithography XXXII (2019)
Henry Megens, Ralph Brinkhof,Igor Aarts,Haico Kok,Leendertjan Karssemeijer, Gijs ten Haaf,Shawn Lee,Daan Slotboom,Chris de Ruiter,Irina Lyulina,Simon Huisman,Stefan Keij, Evert Mos,Wim Tel,Manouk Rijpstra,Emil Schmitt-Weaver,Kaustuve Bhattacharyya,Robert Socha,Boris Menchtchikov,Michael Kubis,Jan Mulkens
Proceedings of SPIE (2019): 119-131
Boris Menchtchikov,Robert Socha,Chumeng Zheng, Sudhar Raghunathan,Igor Aarts, Krishanu Shome,Jonathan Lee,Chris de Ruiter,Manouk Rijpstra,Henry Megens, Ralph Brinkhof, Floris Teeuwisse,Leendertjan Karssemeijer,Irina Lyulina, Chung-Tien Li,Jan Hermans,Philippe Leray
Proceedings of SPIE (2018)
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