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Accelerate the analysis and optimization of lamellar BCP process using machine learning
A. Derville,S. Martinez, G. Gey, J. Baderot,G. Bernard,X. Chevalier,J. Foucher
ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXVI (2019)
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InAs/GaSb thin layers directly grown on nominal (001)-Si substrate by MOCVD for the fabrication of InAs FINFET
Tiphaine Cerba,M. Martin,J. Moeyaert,Reynald Alcotte,B. Salem,Étienne Eustache, Philippe Bézard,Xavier Chevalier, Geoffrey Lombard,F. Bassani,S. David, Jean‐Luc Rouviere,
HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe) (2018)
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Automated lamellar block copolymer process characterization
G. Bernard,Xavier Chevalier, A. Dervilllé,J. Foucher
Advances in Patterning Materials and Processes XXXV (2018): 98-103
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Automated lamellar block copolymer process optimization with machine learning
G. Bernard,X. Chevalier, A. Derville,J. Foucher
ADVANCES IN PATTERNING MATERIALS AND PROCESSES XXXV (2018)
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