基本信息
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职业迁徙
个人简介
先后从事高温、低温等离子体物理与应用研究,涉及直流、射频、甚高频、微波以及电子微波电子回旋等离子体,在等离子体电磁诊断、等离子体源研究方面取得了一系列创新性研究成果。与国内大型等离子体高科技公司长期保持密切联系,分析、解决等离子体物理、技术、工艺问题,所培养的研究生在公司求职中具有竞争力。先后主持、参加了973、863、国家自然科学重大基金、重点基金、面上基金、国防预研等20余项课题。主持了国内第一台深亚微米等离子体刻蚀机的物理研究,近年来从事小卫星等离子体电推进、大气压脉冲调制射频活性气体放电均匀化、电磁发射、高性能复合纤维材料等离子体表面改性、发光二极管等离子体封装清洗机的研究工作。发表科研文章100余篇,申请国家发明专利7项。获中国科学院科技进步二等奖一项,辽宁省科技发明一等奖一项,大连市科技技术奖励一等奖一项。
研究兴趣
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AIP Advancesno. 9 (2023)
PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGYno. 4 (2022)
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