ПЛАЗМОСТИМУЛИРОВАННОЕ АТОМНОСЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК ОКСИДА ГАФНИЯС.С. Зюзин,А.А. Резванов,Е.С. Горнев,В.В. Панин,В.А. Гвоздев, Я.Г. ЗассеевNanoindustry Russia（2021）被引用0|浏览4摘要В работе приведены некоторые результаты атомно-слоевого осаждения тонких пленок оксида гафния на новой установке российского производства «Изофаз ТМ 200-01».更多查看译文上传PDF原文链接分享引用加入学术空间AI Read Science数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果，我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问，可以通过电子邮件方式联系我们：report@aminer.cnChat Paper正在生成论文摘要
原文链接
分享
引用
