В данной работе представлены результаты осаждения тонких пленок оксида гафния с использованием отечественной установки «Изофаз Т. 200-01», разработанной НИИТМ. В качестве прекурсоров были использованы TEMAH (тетракис(этилметиламино)гафний(IV)) и плазма кислорода. Были получены тонкие пленки различной толщины (100-300 А) с отличной равномерностью по толщине и высокого качества.

В работе приведены некоторые результаты атомно-слоевого осаждения тонких пленок оксида гафния на новой установке российского производства «Изофаз ТМ 200-01».

Представлены результаты работы на экспериментальной установке для плазмостимулированного атомно-слоевого осаждения сверхтонких пленок на пластины диаметром 200 мм. Приведены данные о неравномерности толщины покрытий оксида титана (TiO2) и оксида гафния (HfO2) по диаметру пластин.

В данной работе рассматриваются существующие методы атомно-слоевого осаждения пленок кобальта, рутения и их оксидов для применения в различных целях в области микроэлектроники.

Представлены состав, описание основных узлов и принцип работы экспериментального образца установки «Эпифаз ТМ 200-01» газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений (ГФЭ МОС) для роста III-N-гетероструктур на подложках диаметром до 200 мм

Представлено современное промышленное вакуумно-плазменное оборудование. Установки имеют возможность встраивания в чистую комнату и снабжены шлюзовой камерой с манипулятором для поштучной загрузки и выгрузки пластин диаметром 150 и 200 мм, в том числе из кассеты в кассету. The paper describes modern industrial vacuum-plasma equipment. All systems have a manipulator for single loading and unloading of wafers of diameter from 150 to 200 mm, including cassette in the loadlock, and can be located in the “clean room”.

The paper demonstrates the principal development stages of geomechanics as a basic Earth science and its role in providing safe and cost-efficient development of mineral deposits. The main achievements of geomechanics are determined by demands of mining-engineering practice and logic of scientific knowledge evolution and are shown in different publications.

Представлен модульный принцип создания вакуумно-плазменного оборудования для микроэлектронных технологий с использованием различных вариантов загрузки-выгрузки пластин в рабочий модуль (реактор): установки с поштучной ручной загрузкой-выгрузкой пластин, с поштучной загрузкой-выгрузкой пластин из шлюзовой камеры манипулятором, с поштучной загрузкой-выгрузкой пластин манипулятором из кассеты-в-кассету в шлюзовой камере, а также оборудование кластерного типа. Рабочие модули установок обеспечивают высокие требования к процессам плазмохимического травления.

Представлены результаты предварительных испытаний опытного образца вакуумной кластерной установки, а также процессов атомно-слоевого осаждения, травления гладких щелей, глубоких отверстий в кремниевых пластинах и удаления полимеров из этих отверстий.

В монографии отражены результаты аналитических и экспериментальных исследований закономерностей геомеханических процессов в геологической среде горнотехнических систем. Предложены объяснительные модели эволюции энергии в геологической среде в процессе ведения горных работ, показаны механизмы деформирования и разрушения пород в массиве с различными параметрами трещиноватости.Численным моделированием показана трансформация напряженного состояния массива пород,а также взаимодействие открытых и подземных технологий на примере Хибинских апатит-нефелиновых месторождений. Достаточно подробно изложена методика геомеханического мониторинга геологической среды в горнотехнических системах, включающая в себя геодинамическое районирование, инструментальные определения параметров напряженного состояния пород в массиве, контроль деформаций методами традиционной и спутниковой геодезии, регистрацию сейсмической эмиссии в широком частотном диапозоне. Разработана методология управления геодинамическими рисками при ведении горных работ в высоконапряженных массивах скальных пород, основанная на прогнозе и профилактике кризисной области, опасной по геодинамическим проявлениям горного давления, приведены примеры управления стратегическими, тактическими и оперативными рисками. Монография может быть полезной специалистам по геомеханике и геофизике, сотрудникам научно-исследовательских и проектных организаций, инженерно-техническим работникам горнорудных предприятий,а также студентам старших курсов и аспирантам горных,инженерно-геологических и строительных специальностей.

The modular principle of creating vacuum-plasma equipment for microelectronic technologies with using various options for loading and unloading substrates into a working module (reactor) is presented: systems with single manual loading and unloading substrates, with single loading and unloading substrates from a loadlock by a manipulator, with single loading and unloading substrates with a manipulator from a cassette-to-cassette in a loadlock, as well as cluster type equipment. Working modules of systems provide high requirements to the processes of plasma etching.

Представлен модульный принцип создания вакуумно-плазменного оборудования для микроэлектронных технологий с использованием различных вариантов загрузки-выгрузки пластин в рабочий модуль (реактор): установки с поштучной ручной загрузкой-выгрузкой пластин, с поштучной загрузкой-выгрузкой пластин из шлюзовой камеры манипулятором, с поштучной загрузкой-выгрузкой пластин манипулятором из кассеты в кассету в шлюзовой камере, а также оборудование кластерного типа. Рабочие модули установок обеспечивают высокие требования к процессам плазмохимического травления. The paper presents modular principle of creating vacuum-plasma equipment for microelectronic technologies by using various options for loading and unloading wafers into a working module (reactor): systems with single manual loading and unloading wafers, with single loading and unloading wafers from a loadlock by a manipulator, with single loading and unloading wafers with a manipulator from a cassette-to-cassette in a loadlock, as well as cluster type equipment. Working modules of systems provide high requirements to the processes of plasma etching.

Представлена разработка ОАО "НИИ точного машиностроения" – вакуумная установка "МАГНА ТМ 150-01К", устройство и принцип работы. На ней реализован технологический процесс нанесения многослойных тонких пленок на кремниевые пластины диаметром 100–150 мм магнетронным распылением. Покрытия наносились в едином вакуумном цикле с трех мишеней с загрузкой и выгрузкой пластин из кассеты в кассету в шлюзовой камере, встроенной в чистое помещение. Слои титана и нитрида титана наносились последовательно из одной мишени, слой алюминия наносился из двух алюминиевых мишеней.

The classifications and risk indicators accepted for geodynamic safety are mostly of a qualitative nature. This is explained by the complex physical process of the focal point formation and realization of a dynamic event; by a large number of mutually affecting factors, and the difficulty in mathematical formalization for determining the quantitative parameters of the hazard level.At that, the levels of geodynamic risk, depending on a potential geodynamic event, a development stage of a dangerous situation or the description of a probable dangerous process, are subdivided into low, medium and high. The paper presents the results of estimating geodynamic risk values for the Khibiny apatite mines. Based on the values of the probable occurrence of geodynamic events, the level of consequences has been determined from the available geodynamic event database officially registered by the rockburst commissions at the Kola branch JSC Apatit mines. It is shown that the greatest damage from geodynamic occurrences is inflicted to mining excavations, that is, to the technological process. Along with the geodynamic risk forecast and assessment, the management of these risks is of paramount importance. For this reason, a series on regulatory documentation has been developed. In order to assess the expected damage from potential destruction, all the mine excavations were divided into three classes in terms of the importance for the normal mine running. Depending on the class of excavations, the magnitude of the expected damage increases. For the apatite mine excavations, the sets of preventive measures and types of fastening have been established depending on their predicted condition.

The results of the statistical retrospective analysis of the officially recorded geodynamic events in mines of Apatit Company within the Khibiny Massif are presented. The risks and aftereffects of geodynamic events have been calculated. Under discussion are the results of three calculation variants taking into account the scale of human impact on rock mass. The analysis shows that the main damage due to geodynamic events is different-degree destruction of mine workings while the remaining aftereffects account for less than ten percent. That is, the geodynamic risk in apatite mines can be identified as technological.

The article presents the research results of the Mining Institute of the Kola Science Centre RAS in the field of geomechanical support of mining operations at the rockburst-hazardous deposits of the Kola Peninsula for recent years. The methods developed help minimizing geodynamic risks when conducting large-scale underground and open mining operations. The authors consider examples of justification of the order of carrying out stoping operations with the use of complex full-scale and numerical methods. The main directions have been shown of development of geomechanical support of operations, variants of technological solutions leading to unloading of the rock mass sections, as well as local measures to reduce the level of acting stresses in the boundary zone of mine excavations. A brief analysis is given of powerful seismic events, tectonic rockbursts and mining-induced earthquakes.The results of a prognostic study of geomechanical processes associated with a change in the stress-strain state during the mining of the adjacent deposits at the Khibiny apatite arc are presented. The authors outline a methodical approach to the development of a complex of multiscale numerical models of a volumetric stress-strain state (SSS) of a rock massif with the possibility of differentiated or complex accounting of the main geological and mining factors on the example of creating a geomechanical model of the Khibiny ore mining district. A geomechanical model has been created that allows considering the development of the complex of the adjacent Khibiny deposits and determining the order and direction of mining operations in rockburst-hazardous conditions, taking into account the enclosed ring structure of the rock massif, the effects of tectonic stresses, major radial faults, the relief of the surface, and parameters of ore bodies. Specific features of the stress-strain state in the Khibiny rock massif with successive excavation of the ore apatite-nepheline deposits confirm the hypothesis of transformation of the SSS types with depth and reorientation of the principal stresses in the blocks of the rock mass between the radial faults. The absolute altitude marks -1000 o -1200 m have been defined, below which the vertical stresses prevail over the horizontal ones. The obtained results indicate that all the proven reserves of the Khibiny apatite arc will be worked out in conditions of evident tectonic compression of the rocks. It is possible to use the results obtained in making decisions on the development of other adjacent deposits in complex geomechanical conditions.

The results of investigations aimed at solving the topical problem of geodynamic risk assessment in mining of the Khibiny rockburst-hazardous deposits in the Kola Peninsula are presented. The developed procedures and approaches contribute to minimization of geodynamic risks under large-scale mining of close-spaced apatite-nepheline ore deposits. The geomechanical model is designed, which allows analyzing successive development of a system of closely spaced deposits in the Khibiny Massif. Based on the model data on the stress-strain state, the optimal sequence and direction of mining in the conditions of rockburst hazard is determined. The nested structure of the rock mass, direction of the tectonic compression, main radial faults, daylight surface relief and the parameters of the ore bodies are taken into account. The complexing of the predicted stress fields and seismicity improves reliability of detection of higher rockburst hazard zones. The examples of stoping sequence substantiation using a set of in-situ and numerical methods are given. The main lines of development in the geomechanical support of mining and the variants of process solutions toward regional and local unloading of rock mass are shown.