Представлены результаты разработки вакуумного трибометрического стенда для высокотемпературных трибологических испытаний материалов и покрытий в условиях высокого вакуума при температурах до 300 °С. В стенде реализован стандартный метод трибологических испытаний при возвратно-поступательном скольжении шара по плоскости (ASTM G133-05). Приведены результаты ресурсных испытаний твердосмазочных покрытий на основе дисульфида молибдена, осажденных методом магнетронного распыления MoS2-мишени при различных режимах.

Проанализированы основные источники привносимой дефектности изделий микро- и наноэлектроники в вакуумном технологическом оборудовании кластерного типа. Рассмотрены механизмы формирования потоков мелкодисперсных частиц в шлюзовых и технологических вакуумных камерах, молекулярных загрязнений и следов металлов в результате изнашивания конструкционных материалов и трибодесорбции.

В статье представлены современные применения и преимущества электронно-лучевой технологии в обработке стекла и керамических материалов. Рассмотрена конструкция и технологические возможности вакуумной установки «ЛУЧ» для электронно-лучевой плавки, сварки и размерной микрообработки электровакуумного стекла и керамических материалов, в том числе LTCC керамики.

В статье описана методика оценки вакуума в электровакуумном приборе после его отпайки. Описана теоретическая основа метода упругих столкновений, а также приведены экспериментальные данные по оценке вакуума в приборе на примере типового магнетрона.

Научно-производственная компания ООО "Электровакуумные технологии" специализируется на решении задач в области электронного машиностроения: от проектирования, изготовления и поставки специализированного вакуумного оборудования заказчикам до отработки технологических процессов и нанесения защитных покрытий. Компания имеет собственное конструкторское бюро и штат высококвалифицированных специалистов – два сотрудника имеют ученую степень, а ведущие сотрудники – высшее профильное образование. Привлекаются к работе и студенты старших курсов МГТУ им. Н.Э.Баумана, работающие под руководством персональных наставников.

В этой работе рассмотрены температурные режимы нанесения подслоя титана относительно мишени. Были определены шероховатости покрытий и адгезионная прочность при выбранных режимах. Была проведена серия экспериментов с различными положениями подложки и максимальным и минимальным расстоянием между подложкой и мишенью для предотвращения разрушения подложки при осаждении с горячей мишенью, что необходимо ограничивать тепловой эффект на нее.

Creation and location of education content at a size of electronic education resource – online courses trends are analysed. Vacuum technique and technology online course structure, which consists of vacuum technique history and application fields from electronics and machinery and space technique to medicine and biology and food industry is represented. Theoretical and practice parts of the online course are described. Remote access to laboratory vacuum equipment system example of using is represented.

In this paper was researched the thermal processes in DC magnetron sputtering system when sputtering a titanium target, depending on parameters such as discharge power, pressure and gas flow. Physical model of sputtering processes and the part of energy balance equation were investigated and the powers of various heat fluxes that occur during the magnetron sputtering process were determined. As a parameter of energy efficiency, the value of power heat flow to the substrate is ration to the discharge power were proposed. The influence of the change in sputtering parameters on the energy efficiency of the process was investigated.

Variety of compositions of multicluster tools determines the development of methods aimed at analysis and search of feasible compositions, which meet the requirements and optimal performance (throughput) criteria. Very often in the industry, there is a task to find optimum utilization of the cluster tool. To find a solution various approaches are used, such as input in the system several flows of the semifinished products, increasing overall number of the arms of the robot, etc. In this article cluster tool and throughput dependence on quantity of performed operations of the least loaded module are investigated. It is shown, that with the help of this approach one can easily simplify both finding the solution of the task to composite cluster tool with flows of two different types of wafers and determining schedule of the wafers for maximum and minimum throughput. Relevance of the article is stipulated by substantive and complex choices of both finding optimal composition of the cluster tool and scheduling semifinished products flows (in accordance with variations of the operations in modules) at both the design and exploitation stage.

In this journal are considered that the comparing of the adhesion strength with and without Ti layer between substrate and current layers. Comparing of the DC magnetron and pulse magnetron with various pressure in vacuum chamber. With Ti sub layer adhesion strength 10 times more than without adhesion layers. The best value of adhesion strength was obtained by using with a direct current magnetron and pressure in the chamber 8.8x10(-2) mbar. A series of experiments was conducted with differences substrate position and maximum and minimum distance between substrate and target to prevent the destruction of the substrate when coating with a hot cathode target, it is necessary to limit the thermal effect on it.

Рассмотрены вакуумные установки для нанесения тонких пленок с автоматическим управлением, встроенным в систему удаленного доступа.На установках реализованы методы термического, магнетронного, ионно-лучевого и газофазного осаждения наноструктурированных тонкопленочных покрытий.Разработаны методическое обеспечение для подготовки к выполнению лабораторных работ и виртуальный симулятор для обучения практической работе на установке.Данная статья продолжает цикл статей, опубликованных в журнале "НАНОИНДУСТРИЯ" за 2016 год (№ 3 и 5).Thin film vacuum deposition systems with automatic control that is built-in into the system of remote access are considered.Methods for thermal, magnetron, ion beam and chemical vapor deposition of nanostructured thin films are used in equipment.The methodical support for the preparation of laboratory works and the virtual simulator for the training on the equipment are developed.This paper continues a series of publications in the NANOINDUSTRY journal No. 3 and 5, 2016.

Vacuum modular tool for thin films vacuum deposition was considered. Deposition tool automatic control system built-in to the remote access. Methodological support for the preparation of laboratory works and virtual simulator for mastering the ability to work on the vacuum deposition tool were developed.

In this journal are considered the results of processing titanium film deposition technology on the aluminum oxide substrate. The results of measuring the characteristics of adhesives are given.

Что год текущий нам готовит?What are the expectations for the current year?2015 год был непростым для отечественной инновационной отрасли.В рамках экономических санкций перестали поставляться в Россию некоторые виды оборудования и материалов европейского и североамериканского производства.При этом слабый курс российской валюты привел к росту рублевой стоимости импортных товаров.Возникли предпосылки для повышения конкурентоспособности российской продукции на международном и внутреннем рынках.Опытом преодоления сложностей и планами на 2016 год делятся наши эксперты.The year 2015 was a difficult one for the Russian innovative industry.Due to the economic sanctions some types of equipment and materials of European and North American companies are no longer available in Russia.In addition, a weak ruble exchange rate has led to the growth of the ruble cost of imported goods.However, we can note the preconditions for improving the competitiveness of Russian products on the domestic and international markets.Our experts share their experiences of overcoming difficulties and plans for 2016.

Методом пароструйного осаждения с использованием специально разработанного источника материала получены медные покрытия, имеющие кластерную структуру