A model is presented and the interaction of accelerated electrons with atoms in a thin film “shooting through” Be target is theoretically described. The algorithm is based on the Monte Carlo simulation of the electron motion in the target accompanied by energy losses in elastic and inelastic interactions. The conversion of the electron energy to the radiation energy in the 11.4-nm K α line of Be and the emission spectrum are calculated. The maximum conversion efficiency to the solid angle 4π CE = 3.0 × 10 –4 is achieved for the electron energy E e = 2.0 keV and a 40-nm-thick freely suspended beryllium film. 200-nm and 400-nm-thick films were experimentally investigated. The maximum conversion efficiency to the solid angle 4π for a 200‑nm-thick film and the electron energy E e = 2.75 keV was CE exp = 9.2 × 10 –5 , whereas the calculated value was CE calc = 2.5 × 10 –4 . The observed discrepancy between the theory and experiment is explained in the paper.
Изготовлены и исследованы многослойные рентгеновские зеркала на основе Cr/C, предназначенные для отражения излучения в области “углеродного окна” ( = 4.45 нм). Структуры получены методом магнетронного распыления при различных параметрах осаждения. При нормальном падении достигнуты рекордные коэффициенты отражения более 15%. Методом рефлектометрии на длинах волн 0.154 и 4.47 нм изучены структурные параметры зеркал.
The problems of creating multilayer structures for the soft X-ray range are discussed. The search for an absorbing material for multilayer mirrors and phase shifters based on scandium for the water-window spectral range (wavelength of 2.3–4 nm) is performed. A comparison of the reflection characteristics of normal-incidence mirrors and the properties of phase shifters during numerical simulation of different pairs of materials shows the possibility of using cobalt as an absorbent in a pair with scandium.
В работе обсуждаются проблемы создания многослойных структур для мягкого рентгеновского диапазона. Проведен поиск парного скандию материала для структур на основе скандия для спектральной области “водного окна” (длины волн 2.34 нм). Сравнение полученных в ходе численного моделирования отражательных характеристик зеркал нормального падения и фазовращательных свойств пленок для разных пар материалов показало перспективность использования кобальта в качестве рассеивающего материала в паре со скандием.